程控厭氧潔凈烘箱是一臺針對集成電路封裝生產線芯片上芯固化時存在的污染、發黃、氧化、分層等問題而研制的烘箱，通過強制排風，帶走烘烤揮發物，將各種動作、邏輯關系、相關保護、參數設定、數據通信程序化，操作員只是簡單的操作即可完成整個工藝段的烘烤，提高了烘烤工藝的可控性，增加了烘烤溫度曲線對應產品序號的可追溯性。
程控厭氧潔凈烘箱規格書
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項目 |
HTM-2352 |
HTM-2381 | |
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工作腔體 |
工作腔數量 |
1個 |
2個 |
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工作腔尺寸（寬×深×高，mm） |
690×680×930 |
660×660×550 | |
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總工作層數 |
4層 |
3+3=6層 | |
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每層放置料盒數量 |
8個（料盒尺寸280×110×125） |
6個（料盒尺寸280×110×125） | |
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合計放置料盒數量 |
32個 |
36個 | |
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溫度特性 |
空載平均升溫速度 |
7.25℃/min |
8℃/min |
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空載平均降溫速度（200℃-80℃） |
2.5℃/min |
3.7℃/min | |
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溫度均勻性（空載恒溫20分鐘） |
±2℃ | ||
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溫度均勻性（滿載恒溫20分鐘） |
±5℃ | ||
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保溫及密封性能 |
＞18H | ||
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保溫及密封性能 |
＜（室溫+25）℃ | ||
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工藝特性 |
固化工藝 |
直排風烘烤+循環風烘烤 | |
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排風方式 |
主動排風 | ||
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排風量調節開關間歇 |
5S:XS，（X可編程設置） | ||
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降溫方式 |
水冷/風冷 | ||
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氮氣流量 |
80-120L/min | ||
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氧氣含量（通氮15min后） |
＜5000PPM | ||
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氧含量分析儀 |
選配 | ||
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安全特性 |
抗氧化安全 |
氮氣流量自動監控（選配氧氣含量自動監控） | |
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抗污染安全 |
主動排風、電機故障監控、排風閥狀態監控 | ||
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超溫保護1 |
5點溫度傳感器檢測保護 | ||
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超溫保護2 |
數字超溫保護模組 | ||
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超溫保護3 |
機械式超溫保護模組 | ||
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安全門鎖 |
自動安全門鎖 | ||
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斷電保護 |
配備UPS，如果自動運行過程發生斷電，設備保持斷電前數據，強制通氮氣保護，并報警。 | ||
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信息化配置 |
烘烤參數 |
多個參數預先設定、存儲，5段式獨有工藝參數 | |
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烘烤參數調用 |
條碼掃描調用/人工選取調用 | ||
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烘箱運行數據 |
實時顯示 | ||
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溫度時間曲線記錄 |
自動記錄、長期保存 | ||
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產品烘烤信息查詢 |
可查詢，可輸出 | ||
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操作、報警日志記錄 |
自動記錄、長期保存 | ||
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部分操作界面 |
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烘箱設備管理平臺聯網 |
選配 | ||
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與MES系統聯網 |
選配 | ||
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設備動力配置 |
外形尺寸（長×寬×高，mm） |
1430×1050×1826 |
1360×1100×2000 |
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開門尺寸（長×寬，mm） |
1430X2000 |
1360X1970 | |
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空載重量 |
520KG |
550KG | |
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電源 |
AC380V、28A、18kw、50Hz |
AC380V、32A、21kw、50Hz | |
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冷卻循環水 |
5L/min、2bar、18℃、1/2內螺紋接口 | ||
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氮氣流量 |
150L/min、2bar、99.99%、φ10mm快插 | ||
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壓縮空氣 |
5L/min、5bar、φ10mm快插 | ||
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排風 |
5m/s、1360L/min、φ76mm（可選后部或頂部排風） | ||
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熱量回收效率 |
＞40% |
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固態揮發物冷凝回收裝置 |
配置T型冷凝回收裝置 | ||
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工藝及材質 |
控制系統 |
工業控制計算機 |
工業控制計算機 |
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烘箱內膽材料 |
鏡面304不銹鋼 | ||
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烘箱外殼材料及工藝 |
1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 | ||
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烘箱外殼處理工藝 |
高溫噴塑處理 | ||
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烘箱保溫層材料 |
高密度壓縮成型片狀巖棉 | ||
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設備外觀 |
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0917-6753866